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TOPCON电池工艺路径-在研项目-嘉兴市小辰光伏科技有限公司
嘉兴市小辰光伏科技有限公司
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TOPCON电池工艺路径 TOPCON电池工艺路径
TOPCON电池工艺路径
  • 切片
  • 制绒
  • 硼扩

    正面惨杂

  • 去BSG
  • 碱抛

    绝缘背面平整化

  • LP/
    PECVD

    隧穿及POLY沉积

  • 磷扩/
    退火
  • 去PSG
  • RCA
    去绕镀
  • ALD
  • PECVD
  • 丝网
    烧结

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